絲網(wǎng)印刷法制備極限電流氧傳感器擴散孔的研究
作者：程楚; 王金霞; 簡家文; 鄒杰 寧波大學信息科學與工程學院; 浙江寧波315211; 寧波工程學院; 浙江寧波315211
摘要：為了研究采用絲網(wǎng)印刷法制備的小孔擴散障對極限電流氧傳感器的影響,采用流延法制備8%molY2O3穩(wěn)定ZrO2(8YSZ)膜片;通過絲網(wǎng)印制法制備了敏感電極和擴散障,最后通過共燒獲得小孔擴散障型極限電流氧傳感器。利用掃描電鏡(SEM)等手段對氧傳感器進行物理結構的表征,發(fā)現(xiàn)通過絲網(wǎng)印刷獲得的傳感器擴散障結構良好,多層對位效果良好。通過計算驗證了8YSZ電導率能產(chǎn)生足夠大的泵氧電流。進一步對傳感器的氣敏特性進行測試,發(fā)現(xiàn)傳感器具有一定的飽和平臺,工作溫度對極限電流具有一定的影響,同時發(fā)現(xiàn)極限電流與氧氣濃度存在正常擴散模型的線性關系。
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傳感器與微系統(tǒng)雜志
傳感器與微系統(tǒng)雜志， 月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內容涉及的欄目：綜述與評論、研究與探討、設計與制造、計算與測試、應用技術等。于1982年經(jīng)新聞總署批準的正規(guī)刊物。
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