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太陽(yáng)能電池片硼源擴(kuò)散綜述

作者：吳志明; 張威; 張寶鋒; 趙志然 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所; 湖南長(zhǎng)沙410000

摘要：對(duì)國(guó)內(nèi)近十年來(lái)硼擴(kuò)散技術(shù)的進(jìn)展進(jìn)行了介紹,引用不同科研人員的研究成果說(shuō)明以下結(jié)論:采用旋涂SiO2納米漿料作為硼源,能夠改善太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散區(qū)域方塊電阻的均勻性,粒徑越小,均勻性越好;改善管內(nèi)進(jìn)氣方式,增大硼源進(jìn)氣口距離太陽(yáng)能電池片的距離,能夠改善太陽(yáng)能電池片擴(kuò)散區(qū)域方塊電阻的均勻性;在BBr3液態(tài)源高溫?cái)U(kuò)散過(guò)程中引入二氯乙烯,能夠提高硼擴(kuò)散的片內(nèi)均勻性和片間均勻性。

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電子工業(yè)專用設(shè)備雜志

電子工業(yè)專用設(shè)備雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：先進(jìn)封裝技術(shù)與設(shè)備、半導(dǎo)體制造工藝與設(shè)備、電子專用設(shè)備研究、專用設(shè)備維護(hù)與保養(yǎng)等。于1971年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。

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