摘要:根據(jù)激光光線聚焦狀態(tài)不同對應被測面上激光光斑形狀不同的特點,通過引入輔助激光束,分析了調(diào)焦CCD采集的激光光斑圖像信息,進而根據(jù)光斑形狀及半徑等信息確定被測面對焦狀態(tài)。針對實驗中每隔相同離焦距離采集的一系列光斑圖像,提出了相應的圖像處理方案,以提取所需光斑半徑信息,進而進行光斑半徑與離焦量轉(zhuǎn)換。實驗結果表明,光斑半徑與離焦量呈線性關系,最大線性范圍靈敏度為2.342像素/μm,最高可實現(xiàn)0.43μm分辨率。
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