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激光自動(dòng)對(duì)焦中離焦量的探測(cè)與計(jì)算方法

作者:穆文娟 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院; 安徽合肥230009

摘要:根據(jù)激光光線聚焦?fàn)顟B(tài)不同對(duì)應(yīng)被測(cè)面上激光光斑形狀不同的特點(diǎn),通過(guò)引入輔助激光束,分析了調(diào)焦CCD采集的激光光斑圖像信息,進(jìn)而根據(jù)光斑形狀及半徑等信息確定被測(cè)面對(duì)焦?fàn)顟B(tài)。針對(duì)實(shí)驗(yàn)中每隔相同離焦距離采集的一系列光斑圖像,提出了相應(yīng)的圖像處理方案,以提取所需光斑半徑信息,進(jìn)而進(jìn)行光斑半徑與離焦量轉(zhuǎn)換。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,光斑半徑與離焦量呈線性關(guān)系,最大線性范圍靈敏度為2.342像素/μm,最高可實(shí)現(xiàn)0.43μm分辨率。

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光學(xué)儀器雜志

光學(xué)儀器雜志, 雙月刊,本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向,堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性,刊載內(nèi)容涉及的欄目:應(yīng)用技術(shù)、光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)計(jì)與研究、綜述等。于1979年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。

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