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首頁 > 期刊 > 微細加工技術(shù) > 離子注入機大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制 【正文】

離子注入機大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制

作者：肖仁耀 許波濤 中國電子科技集團公司第四十八研究所 中國電子科技集團公司第四十八研究所 長沙

摘要：采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計思路和實現(xiàn)方法。經(jīng)過實際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機機械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。

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微細加工技術(shù)雜志

微細加工技術(shù)雜志， 雙月刊，本刊重視學術(shù)導向，堅持科學性、學術(shù)性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。于1983年經(jīng)新聞總署批準的正規(guī)刊物。

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