離子注入機(jī)大行程垂直掃描系統(tǒng)的研制
作者：肖仁耀 許波濤 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 長(zhǎng)沙
摘要：采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機(jī)最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計(jì)思路和實(shí)現(xiàn)方法。經(jīng)過實(shí)際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機(jī)機(jī)械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。
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微細(xì)加工技術(shù)雜志
微細(xì)加工技術(shù)雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。于1983年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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